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自动控制设备

自动控制事业部是专门从事在真空环境中, 进行自动控制的研究开发工作。 该事业部独自研发生产的全自动, 取送片真空机械手COVOT以及为后序多个工艺腔体提供过渡的中间准备室NCP-6300。

在世界各地的真空制造厂中得到广泛的应用。 真空机械手COVOT的特点是, 世界上唯一种可以对应高真空状态的真空搬送机械手。 NCP-6300是内部搭载有真空手,外部可挂配多个自选工艺室的过渡工艺室。

真空搬送机械手 COVOT

各种半导体装置中圆片/基板的自动搬运

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真空搬送机械手 ELEC-RZ

各种半导体装置中圆片/基板的自动搬运

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真空搬送机械手NCH系列

各种半导体装置中圆片/基板的自动搬运

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真空搬送机械手 COVOT-LC

各种半导体装置中圆片/基板的自动搬运

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真空搬送机械手 COVOT-6

各种半导体装置中圆片/基板的自动搬运

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