首页  »  产品信息  »  电子半导体设备

产品信息

  • 薄膜太阳能制造设备
  • 平板显示
  • 电子半导体设备
  • 产业设备
  • 研究开发用设备
  • 自动控制设备
  • 材料
  • 真空配套设备
  • 零部件
  • 售后服务
  • 二手设备

电子半导体设备

ULVAC提供在LED、功率半导体器件、IC、等领域的前段工艺用尖端设备,包括磁控溅射设备、蒸发设备、离子注入和刻蚀等。

等离子增强化学汽相沉积设备CC-200/400

用于沉积SiO2、SiNx等介质膜和保护膜。

英文详细信息

CS-200

 

英文详细信息

间歇式高真空蒸发装置

动力装置等的化合物关联;LED,LD,高速设备;各种实验用;其他电子元件

英文详细信息

SME-200

 

英文详细信息

间歇式自然氧化膜去除装置

电容形成时前处理;外延生长时的前处理;Co(Ni)矽化物前处

英文详细信息

干法去胶设备NA系列

用于半导体工艺中光刻胶去除、残渣处理等

英文详细信息

SiC用高温离子注入装置 IH-860DSIC

面向SiC离子注入装置

英文详细信息

枚叶式溅射设备SRH系列

用于半导体背面电极、以及极薄硅片工艺。

英文详细信息

高密度等离子干法刻蚀设备NE-550

化合物半导体,MEMS

英文详细信息

LED/LD量产专用干法刻蚀设备NE-950EX

GaN spahire,ITO,4元系

英文详细信息

300mm对应金属化设备ENTRON-PVD/CVD

最先进的半导体制造工艺

英文详细信息

中束流离子注入设备SOPHI-200/260

半导体,电子零部件,功率器件

英文详细信息

PAGETOP