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平板显示

LCD面板用

  • ①Array侧的 TFT回路用Gate, Source,Drain及显示电极的溅射镀膜设备。
  • ②CF侧的BM及通用电极的成膜设备。
  • ③Array面板和CF间的液晶的充填及贴合。PDP 面板上的ITO显示电极的镀膜及MgO的保护膜的蒸发镀膜。

TFT溅射设备SMD系列

TFT回路电极镀膜

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有機EL成膜装置 SOLCIET, SATELLA,
ZELDAシリーズ

有机EL显示器,有机EL照明

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单片式等离子 CVD装置CMD系列

低温P-Si、α-Si TFT

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液晶滴下贴合设备ODF系列

前后屏间充填液晶及贴合

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